电化学法  　　

电化学法是被测臭氧气体以扩散方式或泵吸方式和仪表接触，并发生反应。输出稳定的电信号。气体浓度值可以稳定地用数据显示在显示屏上，此方法检测臭氧简单方便，随拿随测。

紫外线吸收法

臭氧分析仪就是采用紫外线吸收法的原理，用稳定的紫外灯光源产生紫外线，用光波过滤器过滤掉其它波长紫外光，只允许波长253.7nm通过。经过样品光电传感器，再经过臭氧吸收池后，到达采样光电传感器。

臭氧分析仪采用紫外光度法测臭氧原理，当空气样品以恒定的流速进入仪器的气路系统，样品空气交替地或直接进入吸收池或经过臭氧涤去器再进入吸收池，臭氧对254nm 波长的紫外光有特征吸收，零空气样品，通过吸收池时被光检测器检测的光强度为I0，臭氧样品通过吸收池时被光检测器检测的光强度为I，I/I0为透光率。每经过一个循环周期，仪器的微处理系统根据朗伯—比耳定律求出臭氧的浓度。

综上所述，就是臭氧分析仪的工作原理。其实，臭氧浓度的原理是采用化学发光法、紫外线吸收法和电化学法三种。但是因化学发光法须配用乙烯气瓶，乙烯又是可燃物，既危险又不方便，所以近年来常用的是紫外线吸收法和电化学法两种。